等离子体检测可以为样品提供详细的元素分析，并可确定在等离子体产生过程中所需的关键参数。发射线可识别等离子体中存在的元素，发射线强度用于实时量化粒子和电子密度。
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使用等离子体监测的终点检测对于半导体材料的生产至关重要
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光纤光谱仪因其快速、无损、原位测量的特点，在半导体行业广受青睐。海洋光学作为微型光纤光谱仪的发明者，在此领域也积累了一定的经验。从等离子体刻蚀到晶圆膜厚测量，光纤光谱仪都有一定的应用。下面，为您带来光纤光谱仪测量晶圆膜厚的应用解决方案。
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