使用等离子体监测的终点检测对于半导体材料的生产至关重要
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光纤光谱仪因其快速、无损、原位测量的特点，在半导体行业广受青睐。海洋光学作为微型光纤光谱仪的发明者，在此领域也积累了一定的经验。从等离子体刻蚀到晶圆膜厚测量，光纤光谱仪都有一定的应用。下面，为您带来光纤光谱仪测量晶圆膜厚的应用解决方案。
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