售前热线: 400-623-2690

关注海洋光学:

注册/登录

OLED中ITO薄膜的透过率、厚度应用方案

OLED中ITO薄膜的透过率、厚度应用方案

本文关键词: 新材料透反射
摘要

应用背景

有机发光二极管(organic light-emitting diode,简称OLED)又称为有机发光半导体,具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成,这些功能膜层包括阴阳电极,以及两极间的导电和光发射有机材料。目前,铟锡氧化物(简称ITO)有机膜层在OLED中得到较多的应用,该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷,为自由电子的运动和传输提供了空间,在两电极的作用下,自由电子发生定向运动,从而实现了ITO薄膜的导电特性;除能导电外,ITO薄膜还具有较高的透光性能,这是由于氧化物中原子键存在间隙,自由电子的密度不高,从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此, OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关,一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面,薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响,当厚度大于70nm时,透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中,ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。

        

         OLED结构                                        OLED应用于显示屏

 

应用测量原理介绍

ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下:

透过率:透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式,透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。

薄膜厚度:薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象,具体可表述为光束照射在薄膜表面,由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值,使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射,反射光波相互干涉,从而形成干涉光,这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测,结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。

 

微型光纤光谱仪优势:

微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中,具有以下显著的优势:

  1. 体积小巧,适合原位在线监测。 3. 低成本;
  2. 易于操作、控制。             4. 快速测量全谱。

 

海洋光学推荐应用配置

  1. ITO薄膜透过率检测

海洋光学的微型光纤光谱仪,在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下:

 

紫外/可见光波段

近红外波段

光谱仪

USB系列, HR系列, QE65000,  Maya2000 Pro

NIRQUEST

软件

Oceanview 1.6.3

光源

DH-2000, HL-2000, DT-MINI-2-GS

光纤

UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头

VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头

附件

74系列准直镜, 采样平台Stage-RTL-T

 

薄膜透过率测量系统配置

                   

不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率

 

2.  ITO薄膜膜厚检测

海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统,配置有采样平台、UV-VIS反射探头,可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下:

                  

薄膜厚度测量系统配置

 


NanoCalc膜厚仪系统参数

 

薄膜材料厚度测量结果举例

 

 

 

 

 

 

  View: 解决方案-分类: 高光谱

光纤光谱仪